场发射枪扫描电子显微镜实现国产化

通过科技部验收

日前，国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目在北京通过科技部验收，这标志着这一纳米研究领域的高端科学仪器实现了国产化。

该项目由中国科学院下属企业北京中科科仪股份有限公司承担研制工作。在项目技术综合验收会上，科技部验收专家组现场听取了项目完成情况汇报，观看了项目视频，听取了异地测试情况汇报。与会专家组成员认为项目按期完成了任务书规定的项目目标及各项考核指标，形成两款产品并已陆续交付。专家组对项目完成情况给予高度评价，一致同意通过验收。

该项目突破了高分辨电子光学成像系统设计、场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术，成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辨率指标分别达到和优于3nm@1kV和1nm@30kV，达到国际一流水平。

中科科仪董事长兼项目负责人张永明表示，该项目促进了我国电子光学仪器产业的发展，使我国扫描电镜研制水平上了一个台阶，有效解决当前“卡脖子”问题，打破了国外产品的垄断局面。“项目对推动和提高我国前沿科学研究、重大工程和战略型新兴产业高端装备的国产化和自主化水平有着积极意义。”

据了解，场发射枪扫描电子显微镜是纳米科技研究不可缺少的工具，为前沿科技研究提供重要支撑，提升高端科学仪器研制水平，促进精密制造业发展，满足半导体技术、 、环境保护等领域的迫切需求。