本报讯 9月10日，国内首条全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营。由上海微技术工业研究院构建的这条中试线，旨在打通从研发到小批量生产的超越摩尔产业生态链布局，助攻创新研发。

据悉，第一个温度传感器产品将在这条中试线上流片，第一批产品预计10月下旬初步跑通。整条中试线按规划未来产能可以达到每月3000片。

致力于“超越摩尔”技术和物联网应用的创新和产业化的上海微技术工业研究院是中科院上海微系统与信息技术研究所与上海市嘉定区人民政府共同发起成立的新型研发机构。作为全球性的协同创新中心，上海微技术工研院集研发、工程、孵化于一体，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案。

根据摩尔定律，当价格不变时，集成电路上可容纳的元器件数目，约每隔18—24个月会增加一倍，性能也将提升一倍。

如今，以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的新一代信息技术正加速创新、融合和普及应用，一个万物互联的智能化时代正在到来。其中，“超越摩尔”技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的核心技术之一。中科院院士、中科院上海微系统所所长王曦解释说，所谓“超越摩尔”，是指非数字、多元化半导体技术与产品（如传感器）可以在成熟的工艺生产线上研发，无需遵循摩尔定律，在工艺尺寸上越做越小。

我国“超越摩尔”领域现状，虽经历多年理论研究与技术验证，但在产业化阶段，往往存在实验室研发与生产平台脱节的情况。究其原因，是MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发、创新需要与产线有一段比较长的磨合期，可以说对产线“严重依赖”。因此，研发中试线就显得至关重要。

为此，上海微技术工研院立足拥有国内一流集成电路研发和产业基础的上海，志在实施“超越摩尔”计划，争取在这一领域与国际领先水平并行。

“这是我们的‘镇宅之宝’。”上海微技术工研院总裁杨潇说，这条面向全国开放的8英寸研发中试线将成为一个创新设计的源头，不仅可以进行工艺研发，还可以实现和小批量生产的无缝对接，从而打通创新链和产业链，使得国内“超越摩尔”生态链得以完善。

王曦表示，这条8英寸研发中试线将贯通“超越摩尔”研发到量产全程服务，专注于传感器等产品技术开发，重点部署了微机电系统、硅光子、3D集成等相关工艺和测量设备。

中试线运营副总裁游家杰说，国内的高校、研究所和企业做了不少原创研发工作，但没有条件做中试，也就不可能投入市场。8英寸中试线的建成，正是为了加快这些原创成果市场化的速度。目前已有10多家企业找上门来洽谈了。

以8英寸线为支点，撬起一个功能型平台的作用已初显。到2020年，上海市将培育形成约30家研发与转化功能型平台，与张江综合性国家科学中心共同组成上海科创中心建设的“四梁八柱”。

杨潇表示，上海微技术工业研究院紧抓“超越摩尔”微技术产业高速发展的历史机遇，深化产学研协同创新，通过引入世界一流的研发设施和建立高效的运行机制，占据本领域科技创新制高点，结合中国“超越摩尔”产业发展的特点，建设世界级半导体创新中心，为上海建设具有全球影响力的科技创新中心作出贡献。（黄辛）