2014年11月15日，能源领域著名期刊《纳米能源》在线发表了北京大学 技术学院微纳电子学研究院张海霞教授课题组应邀撰写的题为“High performance triboelectric nanogenerators based on large-scale mass-fabrication technologies”的综述文章（Nano Energy，2014，DOI：10.1016/j.nanoen.2014.11.012）。文章全面介绍了该课题组在基于大规模批量化加工技术的高性能纳米摩擦发电机领域所取得的系列研究成果，总结、归纳了当前纳米摩擦发电机的发展现状和趋势，并对该领域的发展前景和技术路线进行了展望。

 

张海霞课题组长期致力于将大规模批量化加工技术引入微纳能量领域。他们基于优化深反应离子刻蚀技术与柔性材料软光刻技术相结合，实现了一种晶片级柔性薄膜材料的微纳复合结构加工技术[Self-cleaning poly（dimethylsiloxane）film with functional micro/nano hierarchical structures, Langmuir，2013，29（34）：10769-10775]；随后将上述大规模加工技术成功引入纳米摩擦发电机领域，制备实现多种高性能发电机[Frequency-multiplication high-output triboelectric nanogenerator for sustainably powering biomedical microsystems，Nano Letters，2013，13（3）：1168-1172;；r-shaped hybrid nanogenerator with enhanced piezoelectricity，ACS Nano，2013，7，8554-8560]；首次将商用柔性印刷电路工艺（FPCB）应用于纳米摩擦发电机的批量化制造，实现了多种不同工作机理的纳米发电机。