B������ϸ��ǿ�� ����ǿ���� A��B�ֱ��Dz��ϵĴ�ͳǿ��;��ʾ��ͼ

CΪ����������׳߶��Ͼ���ǿ��ʾ��ͼ���Ҳ�Ϊһ�Ͼ���ʾ��ͼ

4��17�ճ���ġ���ѧ���� Science�����������������ģ���ϸ�������������׳߶ȹ������ǿ�����ϵ��о��ɹ�������ɹ����п�Ժ�������������Ͽ�ѧ���ң����ϣ�ʵ����¬���о�Ա��¬���о�Ա��������ʡ��ѧԺS. Suresh���ں������ڹ�ȥ�����о������Ļ�������ɡ������߲��ϵ�ǿ�ȶ�����ʧ�����ԣ������ڶ���Ͽ�ѧ�����ٵ�һ���ش���ս��Ϊ��ʹ����ǿ���������õ��ۺ�ǿ�����ܣ�ǿ������Ӧ�߱������ؼ��ṹ������(1)���������֮����о���ѧ�����ϵ��(2) ����������õ����ȶ��Ժͻ�е�ȶ��ԣ�(3) ���������ߴ�����������(<100nm)��������¬�µ��о���Ա�����һ���µIJ���ǿ��ԭ��;��——�������׳߶ȹ������ǿ�����ϡ�

��߲��ϵ�ǿ���Ǽ����������������о��ĺ������⡣����Ϊֹǿ�����ϵ�;���ɷ�Ϊ���ࣺ����ǿ�����ڶ�����ɢǿ�����ӹ�����Ӧ�䣩ǿ���;���ϸ��ǿ������Щǿ��������ʵ����ͨ���������ȱ�ݣ���ȱ�ݡ��ߡ��漰��ȱ�ݵȣ��谭λ���˶���ʹ�������Բ������Ա��ζ����ǿ�ȡ�������ǿ����ͬʱ�������������Ի����Եļ����½�����ɸ�ǿ�Ȳ�������ȱ�����Ժ����ԣ����������Բ��ϵ�ǿ�������ܵ͡������������ֲ��ϵ�ǿ���� “���ù�ϵ”��Ϊ����������ش��ѧ�������Լ���Ϸ�չ����Ҫƿ����

��ͳ�IJ���ǿ��������������ͨ�ǹ��������谭λ���˶������ǿ�ȡ�����������������ǹ���ʱ��ǿ��������ߣ������׾�����ϵ�ǿ�Ƚϴ־�����ϸ�һ������������������λ���˶�“�谭��”�����ǹ��磩�IJ������࣬����λ���˶��ܵ������谭��������ȫ���ƶ�����Э�����Ա��Σ���˲��ϱ�ࡣ

����������һ������������ĵ���̬���棬�ṹ�����ǽ����ϵ�ԭ��ͬʱλ�������ྦྷ��Ľ���ϣ�����������ľ������˴��νӣ������ϵ�ԭ��Ϊ���߹��С�һЩ���磨��С�Ƕ���ྦྷ�磩��λ���˶����谭�����������������Ч��ǿ�����ϣ�����һЩ�����빲�������Ч���谭λ���˶�������ǿ��ЧӦ���������ǿ��Al-Cu�Ͻ��е�GP����Ni���Ͻ��еĻ������ȡ����ǣ���Щ�������й�������ȶ��Եͣ��������೤����ϵ����ʧ���Ͼ�����һ������Ĺ��磬������ľ���ʾ���Գơ������о�������һЩ�˻�̬�Ͻ��е����Ͼ����λ����谭��������ͨ�����൱�����������Ͼ����������٣�������ǿ��ЧӦԶ��������ǿ�����ƣ������ǿ����ϸ��ǿ���ȣ�����ˣ�������������һֱû�н����������Ϊһ�ֿ���Чǿ�����ϵĽ������������á�

Ȼ�����������Ķ��ؽṹʹ�����һЩ������ѧ��Ϊ�����ֹ�����棨���Ͼ��磩�ȿ��谭λ���˶����ֿ���Ϊλ��Ļ������ڱ��ι��������ɺʹ���λ���������߲��ϵ��������й��ס�������Ч����߹��������ȶ��ԣ����ӹ��������ܶȣ�������ù��������߲��ϵ�ǿ�ȣ���ͬʱ����������ԡ�

¬�µ����о����֣����׳߶��Ͼ�����߱�����ǿ����������������ṹ����������������������������ɹ����ڴ�ͭ��Ʒ���Ʊ������и��ܶ����׳߶ȵ��Ͼ��ṹ���Ͼ���Ƭ���<100nm�����������Ͼ���Ƭ��ȼ�С����Ʒ��ǿ�Ⱥ���������ͬ��������ߡ�����Ƭ���Ϊ15nmʱ����������ǿ�Ƚӽ�1.0 GPa������ͨ�־�Cu��ʮ�����ϣ���������������ʿɴ�13%����Ȼ������ʹǿ�Ⱥ�����ͬ����ߵ������Ͼ�ǿ����������ͳǿ��������Ȼ��ͬ�����۷����ͷ��Ӷ���ѧģ����������ܶ��Ͼ����ϱ��ֳ��ij���ǿ�Ⱥ͸�����Դ�����׳߶��Ͼ�����λ��Ķ����໥���á����統һ������λ����һ�Ͼ�������ʱ��λ�����Ͼ��練Ӧ������һ��������λ�����Ͼ���Ƭ�ڻ��ƣ�ͬʱ�����Ͼ����ϲ���һ���µIJ�ȫλ����λ������Ͼ����ϻ��ơ����Ͼ���Ƭ�����׳߶�ʱ��λ��������Ͼ��໥���ã�ʹǿ�Ȳ�����ߡ�ͬʱ�����Ͼ����ϲ��������ɶ���ȫλ�����ǵĻ��ƺ�����Ϊ��Ʒ���������Ժ͸߼ӹ�ǿ�����ɴ˿ɼ����������׳߶��Ͼ���ʹ��������ǿ����ͬʱҲ����������ԡ�

���������׳߶��Ͼ������ͨ�������Ʊ�������ã������õ��������ſؽ�����������Ա��λ��˻��ٽᾧ�ȹ��վ����ڽ����в������׳߶��Ͼ����о���������������Խ���γɵ��Ͼ���ƬԽ������������������е������ٶȳ���4nm/sʱ��Cu��Ʒ�е�ƽ���Ͼ���ƬС��20nm�����Ա����շ����Ͼ����еͲ���ܲ��ϣ���Cu��Cu�Ͻ���ֵȣ�ʮ���ձ飬���Ӧ�����ʻͱ����¶ȵȾ��������Ͼ��γɡ�¬�µ��˽��ڷ�չ�Ķ�̬���Ա��Σ�DPD��������ʹ�������γɴ��������׳߶��Ͼ��磬�ѳ�Ϊ�Ʊ���״�����Ͼ��ṹ����Ч;�����������׳߶ȹ���ǿ�����ϻ����Դ�������ĵ�ѧ���ܡ��о�����������ǿ�������Ͼ�Cu��Ʒ�����������ߴ�ͭ�൱�ĸߵ絼�ʣ���ͬʱʵ�ָ�ǿ�ȸߵ����ԡ������Ͼ��ṹ����Ч����Cu�е���ԭ�ӵ���ɢǨ���ʣ��Ӷ���͵�Ǩ��ЧӦ����Ϊ����΢����������ͭ�ߵĵ�Ǩ�������ҵ����µĽ��;����Ҳ��ѧ�߷��������Ͼ��ṹ����Ч��߲��ϵ��������ܣ�Ϊ�з�������������Ͽ�������;����

�������׳߶ȹ������ǿ�������ѳ�Ϊһ����߲����ۺ����ܵ���;�������������׳߶ȹ��������Ʊ����������������������������ܡ���ѧ���ܺ�ʹ����Ϊ̽���ȷ�����Ȼ���������ս���������µ�ǿ��;������߹��̲����ۺ����ܷ�����ֳ��޴�ķ�չDZ���͹�����Ӧ��ǰ��������Դ���п�Ժ�����о����� ������ѧ���� Science����DOI: 10.1126/science.1159610��K. Lu��S. Suresh��

�����Ķ�

����ѧ����������ժҪ��Ӣ�ģ�