�˽�ĸͨ���ֻ���ϸ����ʵ������
��ȼ�ϵ���ɽ�ĸ������
�缫���γɵ�“����”����ߴ�ȼ�ϵ�ص��������
��Ӣ�����¿�ѧ�ҡ���־��������ѧ�������ʾ������Ѫ�е�������Ϊ��Դ�Ľ�ĸϸ����һ����������������ڵĵ���װ�ã������������ֻ������Ķ��������Ҳ������Ӷ�ȡ�����ڸ�����صij�����������Ϊ���ô�Ӣ�����ױ��Ǵ�ѧ��һ֧��ѧ��С�齫��ĸ����������Ľ����У��Ѿ����������������͵�����ȼ�ϵ�أ�����Ӧ�õ��������֢�ļ������缫�����ĵ���װ���С�
���´˽�ĸȼ�ϵ�ؿ����Ŀ�ѧ�ұ�ʾ���������缫��Ҫֲ�뼹���ڣ���˸�����غܼ��֡�
��ͳȼ�ϵ���������´����粬����ȼ���а�����ӣ��Ӷ�������������������ȼ�ϵ�������û�ϸ���еĵ��´����D�Dø��������������İ취�ǣ���ϸ����ʼ�ֽ�ʳ��ʱ����ֱ��“��ȡ”ϸ���������ĵ��ӡ���һ�취��“�����н�”�İ�������ʵ�֣���ν“�����н�”�����㹻С�Ļ�ѧ���ͨ��ϸ����ȡ���ӣ�֮�����ܴ�ϸ�����ܳ�����
����ȼ�ϵ������ƽ�ĸ��ɣ���Щ��ĸ������ɾ۶�������(PDMS)�����ƳɵĽ����У���ͬ�����˴�ȼ�ϵ�ء���ѧ��Ŀǰ����������ȼ�ϵ�ص���Ʒ�����ģ����Ϊ15ƽ���ף���1.4�ס����о��ɹ����������³���ġ�����ϵͳ��־����
Journal of Microelectrical Systems���ϡ�
�������ֻ�����ͨ�����ڶ�������������Ⱦɫ������ô�Ӣ�����ױ��Ǵ�ѧ�Ŀ�ѧ�ҽ�����“�����н�”������ĸ�ֽ�������ʱ�������ʹӽ�ĸϸ������“��ȡ”���ӣ�֮�������͵��˽�ĸϸ������һ�ߣ��Ӷ��������ĵ������������ϣ����Խ�ĸϸ���������Ӻ�����ϲ���ˮ��Ϊ���ӵ缫������ԼӴ��ȼ�ϵ�صĵ����������С�����ù�ʴ�̼���������“����”�������Ϊ40ƽ�������ң���8�ס�
�����ԣ��˽�ĸȼ�ϵ�ش�Լ�ܲ���40���ߵĵ��������֮�£�ʯӢ�ֱ�ĵ���ͨ���ܲ������ĵ�������ˣ�������õ����������������������˽�ĸȼ�ϵ�ؾ�������һЩװ�á��˽�ĸ�������л��������ʹ����и���ĵ��������������������һĿ�����������ս�����磬���ý�ĸϸ����������������������������½����������к�������й������ѪҺ�С� ����Դ�� �Ѻ���ѧ ԪԪ��
��������ϵͳ��־����
Journal of Microelectrical Systems����DOI: 10.1109/JMEMS.2008.2006816��Siu, C.-P.-B.��Mu Chiao ��
